XDS35i/XDS46i愛德華渦旋真空泵密封包軸承

Edwards XDS 和 nXDS 系列干式渦旋泵

Edwards 干式渦旋泵為各種應(yīng)用提供成熟的干式清潔真空解決方案。

當(dāng)需要無油抽空時，渦旋泵是旋片泵的替代品。

Edwards XDS35i 干式渦旋泵

Edwards XDS35i 干式渦旋泵

軸承護(hù)罩

確保制程氣體和軸承潤滑分離，以保證清潔真空并使?jié)櫥槐恢瞥虤怏w污染，從而延長軸承使用壽命。

智能電機(jī)驅(qū)動

意味著全程穩(wěn)定的性能、泵過載保護(hù)和遠(yuǎn)程啟動/停止功能。

高流速氣囊功能

允許泵送蒸汽，包括高達(dá) 240 gh-1 的水蒸汽

簡便的單側(cè)渦旋設(shè)計

可在數(shù)分鐘內(nèi)完成維護(hù)，以降低擁有成本并大程度延長正常運(yùn)行時間。

更進(jìn)一步

增強(qiáng)型在初始抽空期間可減少多達(dá) 20％ 的峰值電力需求，這意味著它能夠在不損失性能的情況下抽空大容量腔室，且在該粗抽壓力下抽取速度可提高達(dá) 25％，這也有助于提高應(yīng)用循環(huán)頻率。

XDS 干式渦旋泵

在干泵真空領(lǐng)域，XDS 干式渦旋泵已成為行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)，在廣泛的應(yīng)用中被證明是一種堅固耐用且清潔的真空泵解決方案。

一般清潔泵送應(yīng)用

電子掃描顯微鏡 - SEM

射束線和高能物理

前級渦輪泵

超高速離心機(jī)

覆層

低溫學(xué)

脫氣/硫化 - 油，環(huán)氧樹脂

蒸餾/萃取/過濾

冷凍干燥

熔爐

凝膠體干燥

實驗室工作臺上真空

激光、氣體回收和再循環(huán)

氦檢漏儀

XDS35i/XDS46i愛德華渦旋真空泵密封包軸承